本实用新型提供一种高深宽比沟槽加工装置，包括机床主体，工件阳极，阳极驱动机构，工具阴极，阴极驱动机构，与所述工具阴极相连的球面超声聚焦系统，电解电源，沿轴向设置于工具阴极中心线位置的阴极通孔，以及电解液循环系统。所述电解液循环系统的电解液从所述阴极通孔高速喷出冲击所述工件阳极的加工表面，所述电解电源通电，所述阴极驱动机构驱动所述工具阴极运动，所述阳极驱动机构驱动所述工件阳极运动，所述工具阴极对所述工件阳极进行微结构加工，所述球面超声聚焦系统将超声能量聚焦于工件加工面狭小的区域，可方便高效地在工件表面加工出所需沟槽结构，实现高深宽比沟槽的加工。