一种原子级别粉末改性设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种原子级别粉末改性设备，包括前驱体源注入管、滑动座、不锈钢旋转腔和石英玻璃反应腔室主体，所述滑动座内部的两端均设置有滑动槽，且滑动槽的内部均设置有底座，所述压力传感器和控制柜的输出端均通过导线与PLC控制系统的输入端电性连接，所述PLC控制系统的输出端通过导线与旋转电机的输入端电性连接。本实用新型通过在石英玻璃反应腔的一侧设置有前封盖，同时在石英玻璃反应腔主体的另一侧设置有后封盖，同时石英玻璃反应腔与前封盖以及后封盖之间均通过装配螺栓固定连接，同时不锈钢旋转腔的两侧均通过不锈钢旋转接头与进气管和旋转轴固定连接，使得本装置可以拆卸，便于检修。
基本信息
专利标题 ：
一种原子级别粉末改性设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920732752.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-21
授权号 ：
CN210097672U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
江苏迈纳德微纳技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-104
代理机构 ：
无锡市才标专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张天翔
优先权 ：
CN201920732752.5
主分类号 ：
B01J19/18
IPC分类号 ：
B01J19/18 C23C16/455
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
B01J19/18
具有内部移动元件的固定式反应器
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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