反应容器组件及氮化镓晶体生产系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种反应容器组件及氮化镓晶体生产系统。该反应容器组件用于生长氮化镓晶体，反应容器组件包括反应容器、外部密封容器和输送管道，反应容器设置于外部密封容器的内部，外部密封容器和反应容器之间填充用于传递压力的介质，使外部密封容器内的压强与反应容器内的压强的差值小于反应容器内的压强与标准大气压的差值，输送管道的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿外部密封容器而与反应容器可拆卸地连接，使得氨供应源中的氨能够被输送至反应容器的内部。本实用新型的反应容器组件能够避免搬运反应容器，进而简化氮化镓晶体的生产操作，且能降低成本。
基本信息
专利标题 ：
反应容器组件及氮化镓晶体生产系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920774994.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-27
授权号 ：
CN210048880U
授权日 ：
2020-02-11
发明人 ：
乔焜高明哲林岳明
申请人 ：
上海玺唐半导体科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区文翔东路58号9幢1楼
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201920774994.0
主分类号 ：
C30B29/40
IPC分类号 ：
C30B29/40 C30B7/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2020-02-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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