一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源
授权
摘要
本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源。该电源可以输出所需要的不同输出波形特性的直流负偏压、单极性脉冲负偏压、直流叠加单极性脉冲负偏压模式、非对称双极性脉冲偏压模式或直流叠加双极性脉冲偏压。并且，负偏压的脉冲电压幅度、频率和占空比可调节，直流叠加脉冲负偏压的直流电压幅度可调节，负偏压工作在高压低电流或低压大电流模式两种模式可设置，正脉冲电压幅度和占空比可调节。
基本信息
专利标题 ：
一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920776684.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN209913732U
授权日 ：
2020-01-07
发明人 ：
李民久陈庆川蒲世豪熊涛姜亚南贺岩斌黄雨邵斌
申请人 ：
核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
代理机构 ：
核工业专利中心
代理人 ：
刘昕宇
优先权 ：
CN201920776684.2
主分类号 ：
H02M9/06
IPC分类号 ：
H02M9/06 H03K5/26 H03K7/10
法律状态
2020-01-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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