本实用新型公开一种等离子体气相沉积镀膜设备，包括沉积室和射频电源，射频电源设置在沉积室外，沉积室内设置有电极板，射频电源与电极板电连接，射频电源包括壳体和电源本体，电源本体设置在壳体的内腔内，壳体设置有与内腔连通的第一进风口和第一出风口，第一进风口与第一吹风机连通，第一进风口设置有气体过滤器。第一吹风机可以将射频电源外的气体吹入内腔内，使得内腔内的气体能够从第一出风口处离开内腔，从而促进内腔内气体的流动，实现对电源本体进行降温，避免电源本体堆积过多的热量，从而降低射频电源因高温而引起的噪音；气体过滤器，可以对进入内腔的气体进行过滤，使得内腔可以保持洁净。