一种用于ITO靶材清洗烘干装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，本清洗烘干装置使用时，将载有ITO靶材的架子放置于水槽中，通过纯水水喉将纯水通入水槽内，启动超声振子开始清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽，开启电阻加热棒进行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品；省去数个水槽，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，提高效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于ITO靶材清洗烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920951199.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-21
授权号 ：
CN210754111U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
柯尚文周传水李隽余永强康明锋董永亮范家伟
申请人 ：
广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
左恒峰
优先权 ：
CN201920951199.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 F26B9/06 F26B23/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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