本实用新型公开了一件元件测试表面清洁工具，涉及半导体工业元件清洁技术领域。本实用新型设置有真空管，真空管的一端与外部真空泵或吸尘器等真空吸附设备，真空管的另一端设置连接头，连接头用于连接真空吸头，在使用时，在真空吸头上包裹无尘布，对元件的测试表面进行擦拭，同时还可以将无尘布蘸取酒精，对元件的测试表面进行擦拭，在真空吸头上开设有真空吸附口，对于附着在元件测试表面上比较顽固的灰尘，可以采用真空吸附口，将灰尘吸附出去，本申请的清洁工具在对元件测试表面进行清理，在清理过程中不需要断电停机，不会对操作人员带来人身伤害，清理方便快捷。