一种修整头
授权
摘要
本实用新型公开了一种修整头，包括修整组件和用于承载修整组件的基座组件，所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫；并且，所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。本申请提供的修整头用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化，其结构合理，内部设置传感器实时监测修整组件相对于基座组件的竖直位置，实时获取修整组件底面距离抛光垫的距离，以保证良好的修整效果。
基本信息
专利标题 ：
一种修整头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920994764.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210588808U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
许振杰王春龙
申请人 ：
华海清科股份有限公司
申请人地址 ：
天津市津南区咸水沽镇海河科技园区聚兴道9号8号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920994764.5
主分类号 ：
B24B53/02
IPC分类号 ：
B24B53/02 B24B53/12 B24B49/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/02
磨具上的平面的
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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