载板防偏装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了一种载板防偏装置，包括：基体，基体内部设置有安装空间，基体的侧壁朝向载板的运输通道；滚珠，滚珠可滚动地设置在安装空间中，滚珠至少部分地突出于基体的侧壁。通过在基体的上设置滚珠，使滚珠对着载板的运输通道，对载板的运动进行导向并限位防偏，利用滚珠的滚动特性，实现了载板水平输运和竖直方向运动以及与水平面呈任意角度的倾斜平面上载板运动的限位防偏作用，且成本低、易加工。

基本信息

专利标题：

载板防偏装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921006291.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-28

授权号：

CN210006709U

授权日：

2020-01-31

发明人：

庞云玲

申请人：

东泰高科装备科技有限公司

申请人地址：

北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

梁文惠

优先权：

CN201921006291.X

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/677 H01L21/68