铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器

授权

摘要

本实用新型公开一种铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器。其中，在铁电电容阵列的方案中，所述铁电电容阵列包括：第一极板，所述第一极板包括用于金属互连的若干第一电极，以及覆于所述若干第一电极上的第一金属内衬层；铁电介质层，所述铁电介质层覆于所述第一金属内衬层上；若干第二极板，所述第二极板包括覆于所述铁电介质层上的第二金属内衬层，以及覆于所述第二金属内衬层上的、用于金属互连的第二电极。通过共用第一极板，可方便地构成铁电电容阵列，既可提高阵列的密度，进而提高铁电存储器的容量，又可简化制备工艺流程，减少工艺步骤，降低制备成本。

基本信息

专利标题：

铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921040260.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210296378U

授权日：

2020-04-10

发明人：

邓袁军周长胜

申请人：

四川省豆萁科技股份有限公司

申请人地址：

四川省绵阳市经济技术开发区塘汛镇塘坊大道677号积家工业园2栋6层A、H号

代理机构：

北京市天玺沐泽专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

鲍晓

优先权：

CN201921040260.6

主分类号：

H01L27/11507

IPC分类号：

H01L27/11507