一次配光平行曝光机

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型是一种一次配光平行曝光机，其特征在于，该曝光机包括抽真空组件、控制系统和配光平行的LED灯箱，所述抽真空组件设置在LED灯箱下部，所述抽真空组件与控制系统电连接，所述LED灯箱与控制系统电连接。通过配光平行的LED灯箱的使用，使整个曝光机的曝光效果更好，配光平行使光线与照射界面之间角度接近垂直，使整个曝光机解析度更高，产品曝光精度更稳定。控制系统与抽真空组件的电连接以及控制系统与LED灯箱的电连接保证了曝光机的工作质量。

基本信息

专利标题：

一次配光平行曝光机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921074939.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-10

授权号：

CN210639421U

授权日：

2020-05-29

发明人：

赖日阳赖华明王百年

申请人：

深圳市格意特智能装备有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区福海街道和平社区桥和路明华工艺制品厂厂房整套2栋1楼B

代理机构：

深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

周松强

优先权：

CN201921074939.7

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2021-09-10 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/20
登记生效日 : 20210831
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市格意特智能装备有限公司
变更后权利人 : 深圳市领德优威科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区桥和路明华工艺制品厂厂房整套2栋1楼B
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区凤塘大道福洪工业区讯源智创谷3栋7层

2020-05-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN210639421U.PDF

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