一种双等离子体谐振器
授权
摘要
本实用新型公开了一种双等离子体谐振器，包括外部水冷套、置于外部水冷套内并呈圆柱状薄壁结构的谐振腔、与谐振腔相连通并支撑谐振腔的波导管以及套设在波导管外并支撑外部水冷套的下部水冷套，所述谐振腔和外部水冷套的两端分别设有外径缩小的台阶状圆形开口，所述谐振腔的端部和外部水冷套的端部设有一定的间隙。本实用新型所述的双等离子体谐振器，采用圆柱形谐振腔体，通过理论计算、设计，则是在谐振腔体中产生两个等离子球，两个等离子体按波导管与谐振腔的相对位置比例分配输入的微波能量，这样可以提高气体原料的反应速度，优化反应物的均匀性，同时避免在高微波能量输入时产生能量过于集中的等离子体，造成谐振腔、石英管的破坏。
基本信息
专利标题 ：
一种双等离子体谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921140930.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN211240240U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
李震宇修建勇
申请人 ：
武汉光盛通设备咨询有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武昌区东方莱茵（保安花园四期）14栋1单元6层2室
代理机构 ：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代理人 ：
刘秋芳
优先权 ：
CN201921140930.1
主分类号 ：
H05H1/28
IPC分类号 ：
H05H1/28 H05H1/30
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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