一种半导体生产用烘烤装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体生产用烘烤装置，包括底板，所述底板底部的两侧均固定连接有支腿，所述底板的顶部固定连接有烘烤箱，所述烘烤箱的顶部固定连接有传动箱。本实用新型通过底板、支腿、烘烤箱、传动箱、电机、转杆一、齿轮一、轴承一、转杆二、齿轮二、齿轮三、转柱、盛物筒、齿盘、加热基座、加热柱、加热丝、固定块、限位柱、轴承二、箱门和把手配合使用，通过转柱带动盛物筒旋转，达到可以全方位烘烤的效果，该半导体生产用烘烤装置，解决了现有的烘烤装置在对物料进行烘烤时只能烘烤正对着热源的一面，其他方位则无法受热的问题，增强了加工的效率，增强了烘烤装置的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体生产用烘烤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921160687.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210980636U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
沈恒文林旭斌金修领吉双平郝小峰刘彤辉
申请人 ：
江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区青龙山联合工业园108号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄冠华
优先权 ：
CN201921160687.X
主分类号 ：
F26B11/08
IPC分类号 ：
F26B11/08 F26B23/06 F26B25/02 F26B25/16 F26B25/00 F26B25/12
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B11/00
对无渐进运动的材料或制品进行干燥的机器或设备
F26B11/02
在运动的滚筒或其他大部分封闭容器内
F26B11/08
围绕垂直轴或微陡斜轴旋转的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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