一种显影机喷头结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种显影机喷头结构，包括显影液主进液管，所述显影液主进液管的下方连通设置有缓存腔，所述缓存腔的下方连通设置有一组呈直线排列的喷头，该组喷头的长度与被显影晶片的直径相适配。为保证晶片上显影液的均匀性，减少流失，所述喷头间隔设置，且该组喷头的喷嘴孔径从中间向两边逐渐递减。本实用新型大大提高了显影液的喷洒效率，降低了生产成本。同时，可以方便调整喷头的数量和间距，满足不同晶片的显影要求，可广泛应用于晶片显影技术领域。
基本信息
专利标题 ：
一种显影机喷头结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921168615.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN210377027U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
李昌勋徐良史伟言彭艳亮朱伟明张磊祝小林刘建哲
申请人 ：
黄山博蓝特半导体科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号
代理机构 ：
芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹宏筠
优先权 ：
CN201921168615.X
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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