内衬接地装置及反应腔室
授权
摘要
本实用新型提供一种内衬接地装置，用于使内衬与基座之间电导通；包括弹性接地件，弹性接地件包括连接部、延展部和弯折部；连接部用于与内衬连接，延展部沿着内衬的轴向平整地延伸，弯折部相对于内衬的轴向倾斜并向基座的方向平整地延伸，弯折部用于产生弹性形变以与目标面保持贴合，使内衬与基座之间保持电导通。本实用新型提供的内衬接地装置及反应腔室，能够提高内衬接地的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
内衬接地装置及反应腔室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921169003.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN210073762U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
简师节
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201921169003.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/3065
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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