真空干燥装置
授权
摘要
本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，及承载台，真空腔室包括一级气流缓冲区和二级气流缓冲区，二级气流缓冲区位于一级气流缓冲区与承载台之间。通过设置多级气流缓冲区，使得在工作过程中腔室内气流均匀稳定，实现有效的气流调控，有利于基板的中间区域与边缘区域的墨水溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。
基本信息
专利标题 ：
真空干燥装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921178612.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-25
授权号 ：
CN210425778U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
王思元王允军
申请人 ：
苏州星烁纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW06-403
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921178612.4
主分类号 ：
F26B5/04
IPC分类号 ：
F26B5/04 F26B9/06 F26B21/00 F26B23/00 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/04
借助在低压下湿气的蒸发或升华，例如在真空中
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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