真空干燥装置
授权
摘要
本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。通过基板罩遮挡像素坑的周边区域，使得在真空干燥过程中像素坑内气流均匀稳定，有利于像素坑中的功能层材料墨滴溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。
基本信息
专利标题 ：
真空干燥装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021383605.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-14
授权号 ：
CN213228043U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
王思元韦艳君王允军
申请人 ：
苏州星烁纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW06-403
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021383605.0
主分类号 ：
B41J11/00
IPC分类号 ：
B41J11/00 F26B5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41J
打字机；选择性印刷机构，即不用印刷的印刷机构；排版错误的修正标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H13/70，H03K17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或
B41J11/00
用于支撑或传送单张纸或卷筒纸之类的复制材料的装置或设备
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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