本申请实施例提供一种真空干燥装置；该真空干燥装置包括一反应腔室，反应腔室内设置有用于支撑基板的多个支撑杆，每一支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值；上述真空干燥装置通过在每一个支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值，从而在真空干燥制程中不会因为支撑杆与基板的温度差异过大而导致支撑杆所支撑位置处的有机墨水提前固化而形成点状的膜面凸起，进而改善了基板产生由支撑杆引起的膜层不均匀问题，进一步提高了基板的产品良率。