一种金属纳米天线增强的超紧凑石墨烯电光调制器

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摘要

本实用新型公开了一种金属纳米天线增强的超紧凑石墨烯电光调制器，属于集成光子器件技术领域，包括SOI衬底，以及在其上刻蚀的硅波导层、低折射率介质包层、单层石墨烯层、夹在单层石墨烯与硅波导之间的绝缘介质层以及金属纳米天线阵列层；单层石墨烯外接金属作为顶电极，薄层外延硅外接金属构成底电极；石墨烯层可在纳米天线阵列顶上也可在其与绝缘介质层之间。本实用新型基于红外波段石墨烯电可调特性以及金属纳米天线的局域电磁场谐振增强的特性实现了石墨烯与光的耦合增强，有望用于大型数据中心、物联网、云计算等领域。

基本信息

专利标题：

一种金属纳米天线增强的超紧凑石墨烯电光调制器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921306426.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-13

授权号：

CN210427998U

授权日：

2020-04-28

发明人：

陆卫兵黄保虎刘震国张金

申请人：

东南大学

申请人地址：

江苏省南京市江宁区东南大学路2号

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

张华蒙

优先权：

CN201921306426.4

主分类号：

G02F1/025

IPC分类号：

G02F1/025