本实用新型提供一种密封圈、半导体制造用真空阀门及半导体设备，该密封圈包括嵌入至真空阀门的内嵌部分以及突出真空阀门的密封部分，内嵌部分和密封部分形成一体式结构，内嵌部分的横截面具有不规则的形状，例如多边形结构，具有缺口的圆弧等，密封部分的横截面包括自不规则的形状向上延伸形成的弧形部分。通过以上设置还可以增大密封圈与安装其的密封槽之间的紧扣力，使得密封圈不易发生滑动，也不易转动打滚，由此能够提高密封圈的密封性能，也能够提高其使用寿命。安装有该密封圈的真空阀门以及安装有该密封圈的半导体设备的密封效果得到提高，由此能够提高器件的良率。