一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括：阀门壳，其上部通道连通反应室的吸入口和其下部通道连通真空泵的排出口，上部通道的侧边设置有磁石；位于阀门壳内部的阀门板，其由磁石反应材质制成，并且同时受到重力和来自磁石的吸力，重力和吸力的方向相反；阀门板在与磁石贴合和与磁石相距预定距离的两个状态之间平移，以使得上部通道在闭合状态和开口状态之间转换；所述预定距离大于临界距离，并且小于所述上部通道和所述下部通道之间的直线距离；引导部，其连接上部通道和下部通道，阀门板沿着引导部在两个状态之间平移。本实用新型能够提高发生逆向压力时阀门的阻断效率，并使阀门壳内部污染物堆积最少化。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922343259.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211624306U
授权日 ：
2020-10-02
发明人 ：
金永春
申请人 ：
无锡永井电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区锡贤路78号5号楼二层东
代理机构 ：
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 ：
王俊
优先权 ：
CN201922343259.7
主分类号 ：
F16K15/06
IPC分类号 ：
F16K15/06 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K15/00
单向阀
F16K15/02
带有导向的刚性阀元件
F16K15/06
带有导杆
法律状态
2020-10-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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