一种超晶格量子点结构
授权
摘要
本实用新型涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种超晶格量子点结构,旨在解决现有技术中衬底和化合物半导体材料,有着不同晶格常数和热膨胀系数,若直接生长化合物半导体材料在衬底上,会形成缺陷并进一步影响生长质量和器件性能的问题,其技术要点在于包括衬底,所述衬底上外延生长有活性层,所述活性层相对所述衬底一侧生长有一层或多层异质量子点结构;所述异质量子点结构包括间隔设置的诱导层和间隔层,位于同层的所述诱导层相比所述间隔层靠近所述衬底一侧。本实用新型可有效增大量子点大小,亦可抑制聚结点的形成,可有效作为光学器件或电子器件实现阻隔缺陷的钝化层,而且制作工艺成本低,不需添加任何新的工艺设备即可完成。
基本信息
专利标题 :
一种超晶格量子点结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921464586.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-04
授权号 :
CN211404521U
授权日 :
2020-09-01
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
苏州辰睿光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区娄葑扬云路2号
代理机构 :
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 :
张韬
优先权 :
CN201921464586.1
主分类号 :
H01L33/44
IPC分类号 :
H01L33/44 H01S5/028 H01L23/29 H01L31/0216 H01L31/18 B82Y40/00
法律状态
2020-09-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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