一种平面靶材背面金属化检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种平面靶材背面金属化检测装置，包括机架，所述机架内部对称安装有两根输送轴，所述输送轴外侧包裹有输送带；所述机架上端安装有门型架，所述门型架上表面竖直贯穿安装有调高杆，所述调高杆的伸缩端安装有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的伸缩端安装有承载架，所述承载架内部转动安装有升降辊，所述承载架侧面安装有固定架，所述固定架内部倾斜安装有刮刀。有益效果在于：通过输送带对靶材进行输送，配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面，通过刮刀对靶材表面金属化铟层刮擦，检测金属化铟层与靶材的结合效果；能够适用于不同大小和厚度的靶材使用需求，适用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种平面靶材背面金属化检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921495984.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN210487570U
授权日 ：
2020-05-08
发明人 ：
陈华鑫高毅陈小梅
申请人 ：
厦门格雷迪科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔明路32号第一层
代理机构 ：
泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王成红
优先权 ：
CN201921495984.X
主分类号 ：
G01N19/04
IPC分类号 ：
G01N19/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N19/00
用机械方法测试材料
G01N19/04
测量材料之间的附着力，例如密封带的，涂层的
法律状态
2020-05-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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