一种干刻机台支撑装置
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摘要
本实用新型公开了一种干刻机台支撑装置，其特征在于：包括设于干刻下部电极板下方的主支撑机构，所述主支撑机构支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置，该支撑装置还设有支撑在所述玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构。本实用新型干刻机台支撑装置，结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性，具有较强的实用性和较好的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种干刻机台支撑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921616406.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN210403693U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
黄艳芳赵浩宋微
申请人 ：
芜湖通潮精密机械股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市长江大桥综合经济开发区泥埠路1号
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
方文倩
优先权 ：
CN201921616406.7
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 C03C15/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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