浅沟槽高压GPP芯片
授权
摘要
本实用新型公开了一种浅沟槽高压GPP芯片,所述芯片包括N‑衬底层,所述N‑衬底层的下表面形成有N+衬底层,所述N+衬底层的下表面形成有阴极金属层,所述N‑衬底层的上表面形成有P‑隔离环,所述P‑隔离环内的N‑衬底层的上表面形成有P阳极层,所述P阳极层的上表面形成有P+阳极层,所述P‑隔离环不与所述P阳极层以及P+阳极层接触,所述P‑隔离环的上表面形成有钝化沟槽,所述钝化沟槽内形成有钝化层,所述钝化层的内侧与所述P阳极层以及P+阳极层接触,所述P+阳极层的上表面形成有阳极金属层。所述GPP芯片中沟槽深度较浅,在制备的过程中可有效的减少Wafer翘曲,降低芯片内部应力,减少碎片,提高产出率。
基本信息
专利标题 :
浅沟槽高压GPP芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921665201.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-08
授权号 :
CN210607274U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
潘蔡军王成森张超
申请人 :
捷捷半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市苏通科技产业园井冈山路6号
代理机构 :
石家庄轻拓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王占华
优先权 :
CN201921665201.8
主分类号 :
H01L29/861
IPC分类号 :
H01L29/861 H01L21/329
法律状态
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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