温度控制装置
授权
摘要

本申请涉及一种温度控制装置,安装于激光直写设备上,激光直写设备包括架体、设置在架体内用以进行激光直写的工作区域、位于工作区域上方的密闭区域、位于工作区域下方的温控区域及与工作区域、温度控制装置信号连接的控制器,温度控制装置包括:温度传感器,设置在工作区域内以检测工作区域内的温度;冷水机,与温度传感器信号连接;风道机构,竖向设置在工作区域内且连接温控区域及密闭区域;冷凝翅片,设置在温控区域内且连接冷水机及风道机构;风扇,设置在风道机构上;风机过滤器,设置在密闭区域内且用以将流向至工作区域的气流过滤。本申请的温度控制装置能够集成至激光直写设备上,且控温精度高。

基本信息
专利标题 :
温度控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921717535.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-14
授权号 :
CN210348197U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
徐顺达吕帅王冠楠朱鹏飞浦东林
申请人 :
苏州苏大维格科技集团股份有限公司;苏州大学
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区新昌路68号
代理机构 :
苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
唐静芳
优先权 :
CN201921717535.5
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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