一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。本实用新型采用铜棒从真空腔体内引出作为接地端，金属铜导电性能优越，可以有效传导对地电压；同时在铜棒上加工出法兰连接结构，棒套利用密封件与铜棒法兰密封连接，确保穿插真空腔体的密闭性以及安装的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921784209.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-22
授权号 ：
CN210430138U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
刘海刘亮曾劲刚
申请人 ：
深圳市辰翔新能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路13号609-610区域（东城大厦）
代理机构 ：
深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄立强
优先权 ：
CN201921784209.6
主分类号 ：
H01R4/66
IPC分类号 ：
H01R4/66 C23C16/505
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
