脉冲激光沉积三维加热台
授权
摘要
本实用新型涉及脉冲激光沉积技术领域，公开了一种脉冲激光沉积三维加热台。所述脉冲激光沉积三维加热台，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机。本技术方案通过水平位移机构、垂直位移机构和旋转机构带动加热平台进行水平位移、垂直位移和旋转，以实现加热台的三维立体加热功能，同时通过控制样品托上下移动以装入、取出以及固定样品进行加热，提升了加热台的使用便捷性和工作效率。通过波纹管和维修旋钮的组合结构，可方便快捷地将加热平台拉出腔体以进行维修或更换。
基本信息
专利标题 ：
脉冲激光沉积三维加热台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921802768.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN211142143U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
张晓军朱新华胡凯代瑞娜
申请人 ：
深圳市矩阵多元科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道朗山路28号通产新兴产业园3号厂房1楼北侧
代理机构 ：
深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余薇
优先权 ：
CN201921802768.5
主分类号 ：
C23C14/28
IPC分类号 ：
C23C14/28 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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