一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及材料工程技术领域,且公开了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口,包括闸板阀,所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口,所述真空密封口的顶部设有固定螺丝,所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口。该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口,通过采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置,能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下,将激光玻璃密封窗口拆卸下来,实现对玻璃窗口的高效清洁,解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题,确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体。
基本信息
专利标题 :
一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920490708.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-12
授权号 :
CN210481501U
授权日 :
2020-05-08
发明人 :
黄传威魏思聪廖肇龙
申请人 :
深圳大学
申请人地址 :
广东省深圳市南山区南海大道3688号
代理机构 :
温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
汤时达
优先权 :
CN201920490708.8
主分类号 :
C23C14/28
IPC分类号 :
C23C14/28
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
法律状态
2022-04-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/28
申请日 : 20190412
授权公告日 : 20200508
终止日期 : 20210412
申请日 : 20190412
授权公告日 : 20200508
终止日期 : 20210412
2020-05-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载