卷对卷等离子体腔体结构
授权
摘要
本实用新型涉及腔体结构技术领域，且公开了卷对卷等离子体腔体结构，包括支撑脚，所述支撑脚的顶部固定安装有底板，所述底板的上表面开设有导轨槽，所述导轨槽的内部滑动连接有导轨，两个所述导轨的顶部固定安装有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有箱体，所述箱体的内部滑动安装有转轴，所述转轴的外侧分别固定安装有主动轮、进料辊、张力辊、除尘辊、收卷辊、浮动辊与从动轮，该设计，通过等离子体从主动轮的下表面的进入，接着会通过进料辊的上表面，再经过张力辊的下表面与浮动辊的上表面，接着通过两个除尘辊之间，再分别通过从动轮的上表面与下表面，最后通过两个收卷辊之间，从而达到可以进行卷对卷操作。
基本信息
专利标题 ：
卷对卷等离子体腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921917803.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-08
授权号 ：
CN210668270U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
王晓东马飞鹏
申请人 ：
天津双微电子科技有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区海泰西路18号北2-204工业孵化-5-92
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921917803.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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