一种槽式湿法花篮

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摘要

本实用新型公开了一种槽式湿法花篮，其包括端板和花篮杆，端板为两个，两个端板间隔设置，花篮杆为多个，每个花篮杆的两端分别连接在两个端板上，每个花篮杆均上设有两个卡齿组，每个卡齿组包括多个沿花篮杆长度间隔分布的卡齿，两个卡齿组沿花篮杆的宽度方向间隔设置，且两组卡齿组内的多个卡齿沿花篮杆的长度方向错开设置，两个卡齿组中相邻设置的两个卡齿被配置为卡接硅片。该槽式湿法花篮能够较好地减小硅片上的卡齿印，从而保证了硅片的良品率。

基本信息

专利标题：

一种槽式湿法花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921920703.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-08

授权号：

CN210403682U

授权日：

2020-04-24

发明人：

张临安

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921920703.0

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18