一种非制冷宽波段红外偏振焦平面探测器
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摘要
本申请涉及一种非制冷宽波段红外偏振焦平面探测器,所述探测器包括像元结构构成的像元结构阵列和光栅结构阵列,所述2N×2N,其中N≥1,个光栅结构阵列通过一对支撑柱固定在所述像元结构阵列上方;所述光栅结构阵列包括悬臂支架和光栅结构;所述悬臂支架通过支撑柱固定在所述像元结构阵列的上方;所述光栅结构分别相对应每一个像元结构设置在所述悬臂支架上,构成与像元结构阵列中行列数量相适配的光栅结构阵列。本实用新型不仅解决了传统非制冷红外偏振探测器在中波无响应的问题,同时将相邻像元对应的光栅结构通过一个双支撑悬臂梁制作在一起,具有工艺相对简单、对光敏元覆盖充分、可以实现高消光比的优势。
基本信息
专利标题 :
一种非制冷宽波段红外偏振焦平面探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921991323.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-18
授权号 :
CN210866199U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
刘军库陈召肖林
申请人 :
中国空间技术研究院
申请人地址 :
北京市海淀区中关村南大街31号
代理机构 :
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
左文
优先权 :
CN201921991323.6
主分类号 :
H01L31/0232
IPC分类号 :
H01L31/0232 H01L31/0203 H01L31/101 H01L25/04
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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