红外焦平面探测器的可靠性筛选方法
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种红外焦平面探测器的可靠性筛选方法,特别是指器件In凸点电学连通的可靠性筛选方法,该方法采用在光敏感列阵芯片的四周添加数个电学互连的In凸点,同时在读出电路的四周也相应添加数个电学互连的In凸点。当光敏感列阵芯片和读出电路倒焊互连构成一个焦平面探测器后,添加的数个In凸点就构成数个单个连通电阻,而光敏感列阵芯片和读出电路的公共连通焊接点可看作为公共连通电阻,再将单个连通电阻和N个公共连通焊接点并联构成一个测试回路,用电阻测试仪进行测量,对测得的阻值进行判断,就可以用于红外焦平面探测器的可靠性筛选了。本发明的优点是:测量简单,检测速度快,数据量也较小,易于实现实时可靠性检测。
基本信息
专利标题 :
红外焦平面探测器的可靠性筛选方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1794438A
申请号 :
CN200510030794.7
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-10-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
叶振华胡晓宁廖清君
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
200083上海市玉田路500号
代理机构 :
上海新天专利代理有限公司
代理人 :
田申荣
优先权 :
CN200510030794.7
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66 G01R27/02 G01R31/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2011-12-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101161710415
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利号 : ZL2005100307947
申请日 : 20051027
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 20101027
号牌文件序号 : 101161710415
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利号 : ZL2005100307947
申请日 : 20051027
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 20101027
2007-12-12 :
授权
2006-08-23 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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