测量系统

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本申请公开了一种测量系统，配置为与处理设备集成，处理设备用于对结构进行光学测量，测量系统包括：密封的隔室；支撑组件，用于在测量系统测量结构时将结构保持在隔室内；和至少一个接口，被配置为将气体或真空的流从处理设备输送到结构的附近，结构位于隔室内。

基本信息

专利标题：

测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922021102.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-19

授权号：

CN211291363U

授权日：

2020-08-18

发明人：

埃拉·德多坦莫舍·万霍特斯克尔希莫·亚洛夫瓦莱里·戴希罗伊·林格尔本亚明·舒尔曼纽希·巴尔·欧恩沙哈尔·巴桑

申请人：

诺威量测设备股份有限公司

申请人地址：

以色列雷霍沃特

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

沈丹阳

优先权：

CN201922021102.2

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G01N21/27 H01L21/67 H01L21/66