测量系统

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本申请公开了一种测量系统，配置为与处理设备集成，处理设备用于对结构进行光学测量，测量系统包括：支撑组件，用于将待测结构保持在测量平面中，使结构沿着至少一个第一横轴移动，并且用于通过z轴载物台改变测量平面的z轴位置；其中，z轴载物台包括两个相对对称的楔块，楔块支撑中间元件，中间元件具有与楔块接触的定向下表面；其中，支撑组件配置为通过改变楔块之间的距离来改变测量平面的z轴位置。

基本信息

专利标题：

测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021661731.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-19

授权号：

CN212620609U

授权日：

2021-02-26

发明人：

埃拉德·多坦莫舍·万霍特斯克尔希莫·亚洛夫瓦莱里·戴希罗伊·林格尔本亚明·舒尔曼纽希·巴尔·欧恩沙哈尔·巴桑

申请人：

诺威量测设备股份有限公司

申请人地址：

以色列雷霍沃特

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

沈丹阳

优先权：

CN202021661731.8

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G01N21/27 H01L21/66