测量系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请公开了一种测量系统，配置为与处理设备集成，处理设备用于对结构进行光学测量，测量系统包括：支撑组件，用于将处于测量中的结构保持在测量平面中，并且用于至少沿着第一横轴移动结构；支架组件，包括载物台；限定照明和收集光通道的光学系统，其中，光学系统包括能通过载物台沿着朝向第一横轴的第二横轴移动的光学头；其中，载物台包括线性磁电机；其中，线性磁电机包括能移动的磁体和静止的线圈组件。
基本信息
专利标题 ：
测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922021216.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211651533U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
埃拉德·多坦莫舍·万霍特斯克尔希莫·亚洛夫瓦莱里·戴希罗伊·林格尔本亚明·舒尔曼纽希·巴尔·欧恩沙哈尔·巴桑
申请人 ：
诺威量测设备股份有限公司
申请人地址 ：
以色列雷霍沃特
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
沈丹阳
优先权 ：
CN201922021216.7
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01N21/27 H01L21/67 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-12-24 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01B 11/24
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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