测量系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本申请公开了一种测量系统,配置为与处理设备集成,处理设备用于对结构进行光学测量,测量系统包括:支撑组件,用于将处于测量中的结构保持在测量平面中,支撑组件被配置为能操作以沿着第一横轴移动;限定照明和收集光通道的光学系统,其中,照明和收集光通道中的至少一个支持倾斜光学测量方案;光学系统包括能移动的光学头,能移动的光学头包括形成照明和收集光通道的一部分的物镜;支架组件,配置为使光学头沿着朝向第一横轴的第二横轴移动;和光学窗口,位于支撑组件和物镜之间;其中,光学窗口位于物镜和测量平面之间。

基本信息
专利标题 :
测量系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922021186.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-19
授权号 :
CN211740135U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
埃拉德·多坦莫舍·万霍特斯克尔希莫·亚洛夫瓦莱里·戴希罗伊·林格尔本亚明·舒尔曼纽希·巴尔·欧恩沙哈尔·巴桑
申请人 :
诺威量测设备股份有限公司
申请人地址 :
以色列雷霍沃特
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
沈丹阳
优先权 :
CN201922021186.X
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  G01N21/27  H01L21/66  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-12-17 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01B 11/24
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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