一种循环利用的单晶炉水冷装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种循环利用的单晶炉水冷装置,包括炉体、电机和坩埚,所述炉体的内壁上嵌入式安装有电机,且电机的输出端连接有螺杆,所述螺杆轴连接于导槽内,且导槽开设于炉体的内壁上,所述螺杆上螺纹套设有活动板,所述水冷套内贯穿连接有水冷管,且水冷管位于第二导孔和第一导孔之间,所述水冷管的一端螺纹连接有导水管,且导水管的一端贯穿炉体位于其外侧,所述水冷套的外侧贯穿连接有导气管,且导气管的一端位于气腔内,并且导气管的另一端贯穿炉体位于其外侧。该循环利用的单晶炉水冷装置,可以调节水冷管的上下位置,根据液位面的浮动,增加冷却空间,同时通过风冷配合水冷,提高冷却效率。
基本信息
专利标题 :
一种循环利用的单晶炉水冷装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922071788.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-27
授权号 :
CN211497858U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
杨昊
申请人 :
弘元新材料(包头)有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室
代理机构 :
北京睿博行远知识产权代理有限公司
代理人 :
张燕平
优先权 :
CN201922071788.6
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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