单晶炉大套小水冷热屏
授权
摘要
本实用新型公开了单晶炉大套小水冷热屏，涉及单晶硅生产设备领域，包括：大锥桶，所述大锥桶的顶端连接有第二进水管、第一出水管。本实用新型通过设置大锥桶、小锥桶、第一进水管、第一出水管、第二进水管、第二出水管，通过第一进水管从外部接入水进来，在水泵的作用下，使冷却水进入小锥桶内部的水路循环槽，冷却水再从第二出水管进入与大锥桶连接的第二进水管，从而进入大锥桶内部的水路循环槽，最后从第一出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量使得结晶的生产速度更高，能兼容单晶炉拉多种规格的晶棒，当需要拉大规格晶棒时，可把小锥桶拆掉，从而避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，大大降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
单晶炉大套小水冷热屏
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123334830.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216614930U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
侯景成
申请人 ：
广州柏创机电设备有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区南村镇坑头东线路八横路8号103房
代理机构 ：
广东启源律师事务所
代理人 ：
杨俊达
优先权 ：
CN202123334830.2
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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