单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

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摘要

一种单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管，所述内筒同心套装在外筒内，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液入口和冷却液出口，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板、第二隔板之间的空腔的底部，再从冷却液出口流出，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，本实用新型还提供了一种单晶硅制备用单晶炉。

基本信息

专利标题：

单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920935816.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-20

授权号：

CN210151240U

授权日：

2020-03-17

发明人：

吴学军

申请人：

宁夏旭樱新能源科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

孙彦虎

优先权：

CN201920935816.1

主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

C30B29/06 C30B15/00