一种晶圆夹持装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆夹持装置，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。本实用新型能够高效夹取竖向或横向放置的晶圆。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922103501.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN211208416U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
孔剑臧晓园徐晨晨刘景业
申请人 ：
东台镭创光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市东台经济开发区中欧产业园4号厂房
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201922103501.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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