本实用新型公开了一种新型硅单晶炉腔室焊接结构，包括主炉体和内壁体，所述主炉体上端焊接固定有上法兰，且主炉体下端焊接固定有下法兰，所述内壁体设置于主炉体内侧，且主炉体内部镶嵌设置有密封圈，所述密封圈设置有预留凹槽，且预留凹槽另一侧设置有进水口，所述主炉体一侧开设有预留开槽。该新型硅单晶炉腔室焊接结构，在下法兰背面上加工宽12mm、深20mm的预留开槽，第一是为了通冷却水冷却法兰，二是焊接时离子弧不会穿透，在焊接内壁板的位置加工mm凸台高于法兰背面，这样整体焊缝就高于法兰背面，有利于焊接保护气体保护，除净焊接区的污渍和油脂，焊缝位置不开坡口，焊接时不添加填充金属（焊丝），直接熔融金属母材。