一种反应炉腔内载片结构
授权
摘要
一种反应炉腔内载片结构，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；硅片设置于舟，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直；本实用新型通过多个舟分别载硅片并设置于舟托或桨上，同时舟与舟托或桨垂直设置，硅片与舟的长度方向垂直，硅片与舟托或桨的长度方向平行，上述舟与舟托或桨的结合方式，对于炉管直径方向上的空间利用更充分，提高炉内空间利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种反应炉腔内载片结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021080254.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212392256U
授权日 ：
2021-01-22
发明人 ：
林佳继庞爱锁刘群林依婷
申请人 ：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202021080254.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/673
法律状态
2021-01-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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