光伏电池工艺炉内的载片舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种光伏电池工艺炉内的载片舟，包括舟体架、活动分流板和若干个载片架单元，舟体架沿长度方向包括左右两个侧栏，两个侧栏的两端通过横向栏杆或者固定分流板固定连接，若干个载片架单元成一排放置在舟体架上，载片架单元内安装硅片；在相邻载片架单元之间和/或载片架单元与舟体架的端部之间插入活动分流板；固定分流板和活动分流板均开设有多个均匀分布的气孔，对气体进行均匀分流。本实用新型通过舟体架上的固定分流板或活动分流板保证气流的均匀性，提高硅片的成品质量。而且载片舟上的载片架单元和活动分流板的组合形式多样，安装灵活，可适用于不同尺寸的硅片规格或者不同的工艺要求。
基本信息
专利标题 ：
光伏电池工艺炉内的载片舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021144105.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-19
授权号 ：
CN211929454U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
陈庆敏吴晓松李丙科朱加杰李建新
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道工业园区五期振发二路16号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
熊启奎
优先权 ：
CN202021144105.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/223 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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