一种等离子三向进气抽气设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子三向进气抽气设备，包括腔体，在腔体的前侧和后侧分别设置有前门和后门，在腔体内壁的顶部、左侧和右侧分别设置有上进气排、左进气排和右进气排，在腔体外侧的左侧、右侧和底部设置有与腔体连通的左抽气管、右抽气管和下抽气管，左抽气管、右抽气管和下抽气管分别通过左抽气管电磁阀、右抽气管电磁阀和下抽气管电磁阀接入到抽气管接头上，上进气排、左进气排和右进气排均通过电磁阀控制通断，上进气排与下抽气管同时接通或关闭，左进气排和右抽气管同时接通或关闭，右进气排和左抽气管同时接通或关闭。本实用新型结构简单、设计合理，能够从三方位对汽车板、企业通讯市场板、办公工业设备板等的高纵横比孔径进行除胶。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子三向进气抽气设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922211711.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-11
授权号 ：
CN211538826U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
杨志军
申请人 ：
苏州爱特维电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山长兴东路268号
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈斐
优先权 ：
CN201922211711.4
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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