一种快速制备材料的简易微波等离子反应装置
授权
摘要
本实用新型公开一种快速制备材料的简易微波等离子反应装置，包括设置在微波等离子化学气相沉积装置的反应腔内的罩体，所述罩体包括上下对应设置的进气部和出气部，所述进气部的内壁上开设有进气孔组，所述出气部的内壁上开设有出气孔组，所述进气孔组包括若干个进气孔，所述进气孔周向开设在罩体的内壁上，所述出气孔组包括若干个出气孔，所述出气孔周向开设在罩体的内壁上，所述进气孔的孔径大于出气孔的孔径，本实用新型主要起到改变空气单位体积内气体浓度和等离子强度的作用，能够在常温常压下持续工作，辅助生长高纯度、高质量的材料，具有很好的工业应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种快速制备材料的简易微波等离子反应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922283115.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN211537712U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
郭胜惠李思佳杨黎刘秉国冯曙光
申请人 ：
昆明理工大学
申请人地址 ：
云南省昆明市五华区学府路253号昆明理工大学基础楼
代理机构 ：
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 ：
张焕响
优先权 ：
CN201922283115.7
主分类号 ：
B01J19/12
IPC分类号 ：
B01J19/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
B01J19/08
利用直接应用电能，波能或粒子辐射的方法；其所用设备
B01J19/12
利用电磁波
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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