一种新型旋涂设备
授权
摘要
本实用新型提出一种新型旋涂设备，包括：外壳，外壳内设置有容纳槽；真空装置，位于容纳槽底部，真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于真空泵上方与真空泵连接的真空吸盘，真空吸盘用于吸附基片；旋转装置，连接于真空泵与真空吸盘之间；密封板，位于真空吸盘上方与容纳槽的槽壁连接，真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；防护装置，位于密封板与密封板连接；滴胶装置，位于密封板上方与容纳槽的槽壁连接；胶液回收装置，位于密封板下方与涂胶口连接，胶液回收装置包括与涂胶口连接的回收壳，以及位于回收壳底端与回收壳连通的回收桶。本实用新型能够防止胶液回收管堵塞，防止空气中的灰尘会污染基片。
基本信息
专利标题 ：
一种新型旋涂设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922287091.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211359436U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
冀然
申请人 ：
苏州天仁微纳智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园1号楼311室
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈娟
优先权 ：
CN201922287091.2
主分类号 ：
B05C11/08
IPC分类号 ：
B05C11/08 B05C11/10 B05C15/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置；涂层厚度的控制
B05C11/08
通过操纵工件，如倾斜涂敷液体或其他流体
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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