一种用于固定管状靶材的卡盘
授权
摘要
本实用新型公开了靶材制造技术领域的一种用于固定管状靶材的卡盘，旨在解决现有技术中夹固管状靶材用的卡盘只能夹持固定尺寸的管状靶材，且卡盘与管状靶材之间刚性接触，容易影响管状靶材的打磨精度甚至造成其损失的技术问题。所述卡盘包括卡盘本体，所述卡盘本体包括不少于一个同轴心的支撑盘，所述支撑盘侧面套接有柔性圈体，所述支撑盘上下端面设有与其同轴心的轴杆，相邻支撑盘之间通过所述轴杆固定连接。
基本信息
专利标题 ：
一种用于固定管状靶材的卡盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922373731.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN211277677U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
周其刚黄家荣
申请人 ：
南京欧美达应用材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁经济技术开发区殷巷铺岗街379号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201922373731.1
主分类号 ：
B24B5/35
IPC分类号 ：
B24B5/35 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B5/00
为磨削工件旋转面设计的机床或装置，还包含磨相邻平面；及其附件
B24B5/35
附件
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
