一种具有环形坩埚的半导体硅材料生长炉
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种具有环形坩埚的半导体硅材料生长炉,包括炉体、位于炉体内的隔热层、发热体、坩埚,发热体围绕坩埚,隔热层围绕在坩埚及发热体外围,所述坩埚为圆柱形且坩埚的横截面为环形;以增加产品尺寸,提高产能,降低能耗;同时增大了热场尺寸,对坩埚内部的加热更加均匀,改善四周硅锭质量,从而避免角锭的产生,提升了硅锭整体的良率和质量。另外环形坩埚装料量降低,避免了角部因受力不均匀导致的坩埚壁撕裂漏硅的现象。
基本信息
专利标题 :
一种具有环形坩埚的半导体硅材料生长炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922375846.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-26
授权号 :
CN211734528U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
李辉秦英谡郑锴张熠穆童
申请人 :
南京晶升能源设备有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区恒发路30-1号
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张弛
优先权 :
CN201922375846.4
主分类号 :
C30B15/10
IPC分类号 :
C30B15/10 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2021-08-03 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 15/10
变更事项 : 专利权人
变更前 : 南京晶升能源设备有限公司
变更后 : 南京晶升装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 211113 江苏省南京市经济技术开发区恒发路30-1号
变更后 : 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
变更事项 : 专利权人
变更前 : 南京晶升能源设备有限公司
变更后 : 南京晶升装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 211113 江苏省南京市经济技术开发区恒发路30-1号
变更后 : 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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