一种大载片量石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种大载片量石英舟，包括端板，所述端板相对一侧的底部固定连接有放置板，所述放置板顶部的前后两侧均开设有槽口，所述槽口内壁的底部固定连接有保护垫，所述端板相对一侧底部的前后两侧均开设有通孔，所述端板相对的一侧且位于通孔相对的一侧固定连接有固定板，所述固定板的正面和后侧均开设有固定槽，所述端板相反一侧顶部的前后两侧均开设有活动腔。本实用具备大载片量的优点，解决了现有的石英舟载片量较少，不能够大量的承载硅片，不能够满足需要大载片量的太阳能电池需求，不能够根据需要承载不同形状的硅片，使用范围小，需要购买多种规格的石英舟，增加了生产成本的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种大载片量石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922406407.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN210778524U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
徐坤林
申请人 ：
苏州凯联石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区震泽镇曹村开发区
代理机构 ：
上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李倩倩
优先权 ：
CN201922406407.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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